產(chǎn)品詳情
簡單介紹：
NXL110I 干式多級羅茨真空泵 是一種高性能的真空泵，廣泛應用于對潔凈度和可靠性要求較高的工業(yè)與科研領域。
主要應用領域
半導體與電子行業(yè)
用于芯片制造、刻蝕、離子注入等工藝，避免油污染，滿足高潔凈度要求。
光伏與太陽能電池生產(chǎn)
在薄膜沉積、PVD/CVD 等工藝中提供無油真空環(huán)境。
分析儀器
配合質(zhì)譜儀、電子顯微鏡等設備，確保無烴污染。
化工與制藥
處理腐蝕性或有毒氣體時，干式設計避免油液污染產(chǎn)品。
科研與實驗室
適用于高真空實驗、材料科學等需要清潔抽氣的場景。
詳情介紹：
產(chǎn)品特點
-
干式無油設計
-
無需潤滑油，避免油蒸氣污染，適合潔凈敏感工藝。
-
-
多級羅茨結構
-
通過多級串聯(lián)設計實現(xiàn)更高的壓縮比和真空度（可達 10?3 mbar 范圍）。
-
-
高效節(jié)能
-
優(yōu)化轉(zhuǎn)子設計減少能量損耗，運行成本低于傳統(tǒng)油封泵。
-
-
耐腐蝕與長壽命
-
關鍵部件采用特殊涂層或耐腐蝕材料（如鎳合金），適合處理腐蝕性氣體。
-
-
低維護需求
-
無油設計省去定期換油的維護，僅需定期清潔或更換過濾器。
-
-
緊湊與模塊化
-
結構緊湊，易于集成到復雜真空系統(tǒng)中，支持多泵并聯(lián)擴展抽速。
-
-
低振動與噪音
-
精密動平衡轉(zhuǎn)子設計，運行平穩(wěn)，適合安靜環(huán)境（如實驗室）。
-
| 技術數(shù)據(jù) | |||
| Units | nXL110i | nXL200i | |
| Pumping speed (pneurop 6602) | m3h-1 | 110 | 200 |
| Ultimate vacuum (total pressure) | mbar | <2 x 10-2 | |
| Inlet flange | NW40 | ||
| Outlet flange | NW40 / NW50 | ||
| Maximum permitted outlet pressure | bar gauge/psig | 0.5 / 7.0 | |
| Operating temperature range | oC | 10 - 40 | |
| Nominal rotational speed | rpm | 9000 | |
| Power connector 1-ph | IEC EN60320 C19 | ||
| Mains voltage | V | 200 - 240 (+/- 10%) | |
| Power at typical application condition (2 - 10 mbar) | kW | 0.7 - 0.9 | |
| Flow at typical application condition | slm | 3-15 | 6-22 |
| Leak tightness | mbar ls-1 | 1.0 x 10-5 | |
| Weight | kg | 75 | 81 |
| Noise (pressure) | dB(A) | 56.7 | |
| Vibration at inlet flange | mms-1 (rms) | <2.5 | |
